Excimer Laser - PSX-100

世界上最小的准分子激光器

这一最新的准分子激光器，不仅结构紧凑、便携，而且脉冲能量可以达到mJ量级，脉冲宽度只有2.5ns，功率峰值超过2MW。

• 集成在一个独立装置中
• 空冷, 高峰值功率脉冲
• 可忽略的反向剩余电流配有有效的放电电路
• 长闸流管寿命
• Halogen compatible construction for minimal repassivation

应用

• 切割、消融和微加工
• 半导体处理
• 表面分析
• 激光电离质谱分析
• 荧光光谱
• 光化学
• Relaxation time studies
• 非线性光学

	F2	ArF	KrCl	KrF	XeCl	XeF
波长	157	193	222	248	308	351	nm
最大脉冲能量1	1.0	3.5	0.3	5.0	1.5	8.5	mJ
脉冲宽度	2.5 to 5.0						ns
最大功率峰值1	400	1400	120	2000	800	600	kW
最大平均功率2	50	300	20	400	150	100	mW

¹ Measured at 15 Hz
² Measured at maximum repetition rate