燃烧流体测量设备分站

北京欧兰科技发展有限公司




系统特色:

-可以用Nd:YAG 激光器基频至四倍频的全部波长(266, 355, 532 或  1064 nm来记录瞬态光栅。
-探针光的波长可选择532 或 1064 nm
-激发光能量密度0.1–10 mJ/cm2
- 探针光延迟时间范围1500 ps
-激光脉冲宽度 5–50 ps
-动态光栅周期范围 2–20 μm
-最小探针光束直径 100 μm

可以测量的材料参数及范围:

-扩散系数 D – 0.1–50 cm2/s
-载流子寿命 τR – 0.1–10 ns
- 表面复合速度 S – 104-106cm/s

HOLO Module是一种新型的可对块状半导体晶体,外延片和异质结材料中的载流子生成,输运,及弛豫过程进行非接触的研究和光学诊断的测量系统。它实现了(或者说发掘了)四波混频实验配置下的众所周知的泵浦-探针技术。它的工作过程是,先用两路皮秒激光脉冲产生的干涉场对被测材料的折射率进行空间调制,然后用另一路延迟的探针光对先前产生的空间调制的驰豫过程进行探测.Holo装置可以测量载流子生成速率,光生载流子浓度,双极性扩散系数,载流子复合时间以及表面复合速率。该装置还可以对硅片的衍射效率进行面检测从而获得缺陷分布均匀性的信息。

它的应用领域非常广泛,从确定培养大型晶体和异晶结构的参数到掺杂浓度的微电子或光电子技术评估, 离子灌输, 退火, 表面加工等。

性能指标

输入光束(泵浦) 波长

1064,532,355 或 266 nm

输入光束 (探测) 波长

532 或 1064nm

最大泵浦光束能量

1 mJ

最大探测光能量

1 mJ

探测光延迟时间范围

1500 ps

延迟平台精度

2.5 μm/步

延迟平台扫描步长

1 ps

样品台定位精度

50 μm

样品尺寸 (直径)

最大4 英寸

动态光栅周期范围

使用 355 nm 泵浦光束

3 – 20 μm

使用 266 nm 泵浦光束

2 – 15 μm

半导体全息测量系统 Holo Module 的详细资料         (487Kb)


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