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产品特点
- 10 ps 超快皮秒激光光源
- 小至 5 µm 的激光光斑
- 最高达 100 kHz 的重复频率
- 高精度三维 XYZ 工件定位
- 单脉冲激光能来量可达 200 µJ
- 符合Class 1 激光安全标准
- 运行维护成本低
- 通用火线 (IEEE-1394)计算机控制接口
- 加工激光脉冲和工件位移定位可以精确同步运转和控制。
相关应用
- 打孔:
– 薄膜材料上几微米至几百微直径圆形孔的加工
– 直到毫米尺度不规则形状孔的加工
– 气化喷雾和注射喷嘴打孔
- 剥蚀
- 打标
- 切割
- 表面结构纹理的加工和制备
该系统的核心是能够达到100KHz的高重复频率的半导体泵浦固体激光器件，先进的光学设计和制作能够保证激光光点小于5微米。高度自动化的控制系统，操作简单易用。而用户友好的开放性软件保证了系统加工能力的灵活性-可根据应用自由改造。该系统使用的是对人体安全的I级激光，而良好的封闭外围，隔离振动的加工平台保证足以确保超精细加工的可信性。
对于希望获得节省时间和成本，同时要求高精度理想脉宽的激光，快速高体积定位和激光聚焦的科研人员或工程师而言，PicoMaster是个绝佳的选择。
丰富的用户定制可选功能
- 视频监测系统用于加工过程控制
- 双轴电流计式振镜用于复杂的高速激光束扫描，切割式钻孔，以及激光刻划
- 用于钻螺旋孔和光束偏振控制的特殊光路系统
- 视频监测系统用于加工过程控制
- 用户定制软件功能
- 532 nm, 355 nm 和工作波长
- 配用其它激型光器
选用皮秒激光器的优势
现实社会中激光微细加工应用的需求与挑战促使了这种脉宽与光电子驰豫或跃迁时间相似并短至足够冷融的皮秒激光加工技术的诞生。简单而经济的紫外激光的转化提供了这种经济的微细加工技术。更短的激光脉冲伴随着更低的消融阈值也会给样品更小的机械应力。同时，皮秒激光具有许多比起脉宽更短的飞秒激光更多的优点。皮秒激光与飞秒激光相比，结构不如飞秒激光复杂，不必为放大而伸展或压缩脉冲，这就使得皮秒激光更为有效，更
为可信同时，飞秒脉冲又能保证材料处理的要求。
该系统中的皮秒激光能够直接在许
多材料上进行微米尺度的加工，这些材料包括：
•金属
•半导体
•金刚石
•蓝宝石
•陶瓷
•聚合物
•聚合物，
•感光胶
•薄膜
• ITO 薄膜
•玻璃
微加工中心的设计和制造
激光器
系统的核心是高重复频率的半导体泵浦固体激光器，可以提供高达100KHz重复频率的皮秒激光脉冲。该激光部分被密封在系统中以提供安全长效的激光操作环境，该激光不需要人工操作，完全通过计算机控制，并能提供内置的自诊断运行报告和高级的状态显示，该激光器是以独立单元安装于系统内，极大地方便系统维护和运行。
定位系统
I级安全激光部分和洁净工作室兼容起来组成封闭工作区，与振动隔离的花岗岩工作台支持位移系统的各轴从而保证了高效稳定，高度精
密，能胜任超大工作区的加工部分。该部分使用激光脉冲输出控制超短激光脉冲，超高精度和超大范围位移的位移同步。先进的光学设计保证150mm工作距离时光点小至15微米良好特性激光。
软件
•微软视窗操作系统
•控制位移定位和激光器运转
•根据加工过程需要集成相应的特定设备
•可导入处理.plt 和 .bmp 格式文件.
系统软件可全自动控制系统中的单元。软件向用户开放提供输入“加工尺寸，深度，速度”等加工数据的软件输入窗口，并可以文件的形式保存输入，输出，调用等操作，方便加工过程。
控制
- 内置基于PC的控制单元
- 激光发射和工件定位控制与激光脉冲协调同步运转
规格和指标
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XY 轴定位系统 |
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X,Y 行程 |
200 mm |
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最大位移速度 * |
2000 mm/s |
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最大直线加速度 * |
30 m/s2 (无载荷) |
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精度* |
± 1 µm |
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重定位精度 * |
± 0.5 µm |
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分辨率 * |
± 0.1 µm |
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直线度/平整度* |
± 1 µm / 25 mm,
± 1.5 µm 最大偏离量 |
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俯仰和偏转* |
8 弧秒 |
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正交度 |
10 弧秒 |
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Z 轴定位 |
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Z 轴行程 |
100 mm |
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最大位移速度 |
400 mm/s |
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最大直线加速度 |
30 m/s2 (无载荷) |
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精度 |
± 1 µm |
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重定位精度 |
± 1 µm |
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直线度/平整度 |
± 2.4 µm |
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分辨率 |
± 1.0 µm |
* 指标分别对X 和Y 平台有效.
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激光器** |
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平均输出功率 |
10 W @ 1064 nm |
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脉冲宽度 |
10 ps |
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重复频率 |
50–100 kHz |
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光束质量 |
M2< 1.5 |
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最大脉冲能量 |
200 µJ @ 1064 nm & 50 kHz |
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脉冲间能量稳定性 |
1.5% @ 1064 nm |
** 可选配其它类型激光器
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聚焦光学元件 |
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光斑尺寸 |
小至 5µm | 所有指标参数会有变更恕不事先通告.
欢迎咨询, 愿意为您的个性化需要提供针对性的解决方案! |
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| Pico Master 系列皮秒激光微加工中心 |
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| 微加工中心所用的PL10100 系列激光器 |
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| 加工工件精密定位系统 |
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激光在钨样品上打的孔(直径0.5 和 0.3 mm )
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| 微加工样品: 硅切割 |
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公司新闻
Pico Master 产品样本 (764 KB)